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上海睿德勵(lì)柯儀器儀表有限公司 氦質(zhì)譜檢漏儀|差壓法檢漏儀|高壓放電法檢漏儀|質(zhì)量提取法檢漏儀
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江蘇推車式氦質(zhì)譜檢漏儀單位 上海睿德勵(lì)柯儀器儀表供應(yīng)

2025-04-15 03:09:56

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:(1)便攜式:很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高:自動校準(zhǔn)氦峰,自動調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些**生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏。江蘇推車式氦質(zhì)譜檢漏儀單位

在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里,必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏問題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。嘉興進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng):1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測試,測試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細(xì)管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實(shí)性。3.因氦比空氣輕,因此要注意檢漏的順序,檢查順序應(yīng)依照由下而上,由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。4.檢漏過程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口,防止因儀器長時(shí)間消除不掉氦影響而延誤測試。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域:學(xué)??蒲袉挝?、真空制造、真空鍍膜、航空航天、核工業(yè)、電力、電子元器件、汽車及制冷、低溫容器、閥門、儀器儀表、聚酯等行業(yè)。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,耗時(shí)耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染,對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員**和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。綜上所述,氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。

選擇氦檢儀時(shí)主要考慮以下問題:(1)儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不適合正壓法檢漏;有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時(shí)應(yīng)選擇有多工位的氦檢儀。(2)儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認(rèn)真選擇。(3)被檢件如果害怕油的污染,就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀。(4)被檢件容積如果較大,必須選用預(yù)抽泵抽速大的氦檢儀,否則就要外加預(yù)抽泵。(5)如果被檢對象不固定,體積時(shí)大時(shí)小,靈敏度要求時(shí)高時(shí)低,就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的氦檢儀。(6)如果檢漏地點(diǎn)不固定,需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí),就要選擇小型便攜式儀器。(7)在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上,還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的原因是什么?寧波多功能氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀的電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同。江蘇推車式氦質(zhì)譜檢漏儀單位

氦檢儀常用的幾種檢漏方法:氦質(zhì)譜檢漏方法較多,根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型;在實(shí)際檢驗(yàn)過程中,應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)?zāi)康倪x擇較合理的方法,并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法。測定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星、導(dǎo)彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法,較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。江蘇推車式氦質(zhì)譜檢漏儀單位

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